这层水，也就是“浸润”这个名字的由来。</p>
传统的技术，就是镜头直接面对晶圆，镜头和晶圆中间只是空气。</p>
虽说林本间从1986年就开始研究浸润式微影技术，但在早期，还有很多方法可用，并不一定需要浸润式这把牛刀，所以浸润式一直是一个冷门的技术，基本上没有引起外界的关注；</p>
浸润式真正引起轰动的是在2002年，当时，关于193纳米下不去这事已经火烧屁股了，林本间受邀到比立时参加“国际微影讨论会”，在会上再次提出浸入式技术，并发表了浸润式设备及操作的示意图。</p>
这一下可捅马蜂窝了，本来，大家都在讨论157纳米干式微影技术上，没想到突然杀出来一个林本间，说加一层水就从能从193纳米变132纳米。</p>
解决问题不是最重要的，最重要的是做量产机器的厂商愿意投入才行。</p>
本来，巨头们已经在157纳米光刻机研发上投入了不下十亿丑元，甚至还有厂商已经建好了157纳米镜头材料的工厂了。</p>
此时告诉他们，“干式微影没得搞，还是来搞浸润式吧”，这就相当于花出去的大笔经费都打水漂了。</p>
一时间，浸润式技术遭到了铺天盖地的反对和质疑。</p>
此时，林本间已经去到了湾积电工作，有一些巨头还朝着湾积电施压。</p>
张中谋还是很有眼光的，他不仅没有压制林本间，还很支持他的方案。</p>
于是，林本间带着自己的方案，在丑国、倭国、德意治等国来回奔波，花了一年多的时间，愣是没能说服一个厂商合作。</p>
林本间上门其实是很讨人嫌的，可他就像看不到别人的白眼，被拒绝了也不放弃，针对巨头们的需求和顾虑，不断地优化浸润式方案，一次又一次上门推销，这让各大厂商不堪其扰。</p>
一家公司甚至直接写信给林本间的上司蒋上义，要求他“管管林本间，让他收敛点，不要出来搅局，不要再来扰乱我们的研究进展和专注方向”。</p>
大多数的厂商都对林本间的方案将信将疑，甚至还有厂商表示坚决不用这项技术。</p>
只有合兰的asl认为林本间的浸润式要比157纳米的干式靠谱，愿意和林本间合作。</p>
这其实也并不是asl的眼光多么超群，只是因为当时的asl在国际上还算不上大个，根本就没有实力随大流，研究不了先进的157纳米的光源，林本坚的方案对他们来说就是一个意外之喜，搏一搏，万一单车能变摩托呢？</p>
再加上，湾积电也是asl的股东，双方一拍即合，共同研发浸润式光刻机。</p>
这一搏，还真就是单车变摩托了。</p>
只用了一年多，在2004年，在林本间和asl的合作下，世界上第一台134纳米波长的浸没式光刻机问世，45纳米制程的芯片是用浸润式技术量产的第一代芯片。</p>
此后，从40纳米起，一路下到到7纳米、5纳米，都是用浸润式光刻机生产的。</p>
asl就是靠着浸润光刻机，一路从小公司逆袭成业界巨无霸。</p>
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在2004年推出浸润光刻机之前，asl在世界市场占有率不足10，只能跟在霓康和嘉能后面吃点残羹冷炙；</p>
待到2007年，就是风水轮流转，asl的世界市场占有率突破60。</p>
在后世，只有asl一家能生产euv光刻机，在全球光刻机市场中，asl市场占有率高达89，昔日风光无限的霓康和嘉能市场份额则被挤压到了8和3。</p>
如果当初没有林本间开辟浸润式这一新赛道，只是在干式微影技术上死磕，那肯定就没有asl的一飞冲天。</p>
当然，这些都是后世发生的事情，赵德彬知道，但他无法告诉张思明。</p>
不过，跟着赵德彬这么长时间，张思明知道在技术上能领先世界是非常不容易的，他对林本间究竟有多么厉害还是有点概念的。</p>
于是，张思明问道：“林博士既然这么厉害，i应该不能放他走才对呀，为什么他愿意回国了呢？”</p>
“主要还是跟i有理念分歧，i并不支持林博士的研究。</p>
林博士在i是研究紫外线光刻技术，但行业里现在都认为紫外线没什么发展前景了，想要开始研究x射线。</p>
目前，i研究的重点放在了x射线上，这个项目的主管还是林博士的顶头上司，要人有人，要钱有钱，你说林博士在公司里能不坐冷板凳吗？</p>
那个x射线项目花了很多钱，林博士恳求公司领导，说只要给他一点点钱，哪怕只有x射线项目十分之一，他就能帮i做出十倍的成果，结果领导根本不理他。</p>
不仅上面忽视，林博士在公司里也不好过。</p>
有一次，林博士参加一个公司会议，当时，用紫外线做只能做 125微米的芯片，他在会议上说，要用紫外线做1微米，甚至07微米。</p>
马上，就有一个很厉害的同事跳出来笑他的想法是‘一个很好的科幻小说’。”</p>
张思明不忿道：“啊，i怎么这样，他们那个x光能做成吗？可是，你不是说那个最高级的euv也是紫外线光吗？这里面好像没有x光什么事啊。”</p>
“你放心，他们那个x光做不成。</p>
往后三十年，光刻机都是紫外线光的天下，x光至少在30年内不会商用。</p>
说到这个，我那天去见林博士，他给我讲了个笑话。</p>
有一天，隔壁x光项目有了进展，他的上司很高兴，给部门里每个人都发了件t恤，衣服上面写着‘x光能用！（x ray works）’。</p>
你说，林博士拿着这件t恤，这心里能好受吗？</p>
于是，他在这句话后面加了三个单词，让这句话变成了‘x光在牙医诊所能用（x ray works– for the dentists）’。</p>
然后，他把这件衣服用磁铁挂在他办公桌后面的文件柜上，让每个路过的同事都能看到。</p>
林博士一直对自己很有信心，他坚信紫外线不会这么快就玩完。</p>
事实也将会证明，他的紫外线光可以从1微米（1000纳米）做到5纳米。</p>
哎呀，林博士这人就是太老实了，你就是没见过他，你见了他就知道了。</p>
他说话轻声细语的，脾气很好很好，不争不抢的，我反正是想象不出他生气能是什么样</p>
像他这样的人，都能在i公开和上司唱反调，可想而知是受了多大委屈。”</p>
“这i真是识人不明，我看还是早点让林博士回来，还是咱们自己家好呀！”</p>
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